复消色差单元放大之投影光学系统

摘要

本发明揭示一种适合微影石版术之投影光学系统。该投影光学系统系为一种经修改的Wynne－Dyson系统，其可以在较窄与较宽的频谱范围中形成之较大范围的影像。该投影光学系统包含一沿着该镜面轴而设置在凹入侧边上的凹入镜面附近但与其分离之凸透镜组。该系统也可以包括有一可变的孔径光阑，因而该系统也包含有可变NA。该投影光学系统在紫外线暴露谱带中具有二或更多焦点，并在一可见的校准谱带里面具有一第三共用焦点。本发明也揭示一种应用该投影光学系统之投影微影石版术系统。