| 摘要 |
一种用于评估关联于制程之状态的方法，包含接收关联于该制程之状态观察。该状态观察具有关联之制程时间。根据该制程时间产生酌减(discount)该状态观察之加权因素。根据该酌减之状态观察产生状态评估。一种系统，包含制程工具、量测工具、和制程控制器。该制程工具可操作以根据操作配方执行制程。该量测工具可操作以产生关联于该制程之状态观察。该制程控制器可操作以接收具有关联之制程时间的状态观察，根据该制程时间产生用以酌减该状态观察之加权因素，根据该酌减之状态观察产生状态评估，以及根据该状态评估决定该操作配方之至少一个参数。 |
