微影装置及元件制造方法

摘要

本发明系关于用于藉由具有一含有关于基板之位置、速度及加速度之资讯的时间表；及一回应于时间表中之资讯而运作以减少局部蒸发及/或增加局部凝结的蒸发控制器或凝结控制器来保持一基板及一浸渍微影装置之热平衡的方法及元件。自基板之表面之水的蒸发使其冷却，而在其底面上凝结水局部地加热基板。