矽基材之蚀刻液及蚀刻方法

摘要

一种矽基材之蚀刻液及蚀刻方法，适用于在一矽基材上形成至少一结构化表面，其系在一制程温度下将该矽基材浸入一蚀刻液中停留一制程时间后取出，于该蚀刻液中包括了将一水溶性硷性物质以及一界面活性剂溶解于水中所构成之硷性溶液。其中，该界面活性剂系包括有至少一种多醣体物质，且该界面活性剂于该蚀刻液中的重量百分比浓度系小于2000ppm。