| 摘要 |
一种用于平面显示器之薄膜气相沉积的遮罩组件系被揭示。于该种遮罩组件中，在洗净该遮罩组件之后而残留于一单元遮罩与一框架之间的间隙之一洗净溶液系可最小化。该种遮罩组件系可包括一框架及复数个单元遮罩。该框架系包括环绕一开口之一对第一支撑部分与一对第二支撑部分。该复数个单元遮罩系具有至少一组的图案开口，且该等单元遮罩系固定于第一支撑部分而具有一施加至其之张力。第一支撑部分系包括一第一表面与一第二表面。该等单元遮罩系固定于第一表面，且第二表面系沿着自第一表面之该等单元遮罩的一厚度方向而具有对于第一表面之一高度差异。 |
