| 摘要 |
<p>본 발명은 레이저를 이용한 태양전지 가공장치에 관한 것으로서, 제1반입부와, 제1레이저 가공부와, 제1반출부와, 제1회전부를 포함한다. 제1반입부는 태양전지 기판이 반입되고, 태양전지 기판을 정렬하기 위하여 태양전지 기판을 촬상하는 정렬용 카메라를 구비한다. 제1레이저 가공부는 제1회전방향을 따라 제1반입부로부터 이격되게 배치되고, 태양전지 기판에 패턴을 형성하기 위하여 태양전지 기판에 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사유닛을 구비한다. 제1반출부는 제1회전방향을 따라 제1레이저 가공부로부터 이격되게 배치되고, 가공이 완료된 태양전지 기판이 반출된다. 제1회전부는 태양전지 기판을 각각 지지하는 복수의 지지판과, 지지판이 제1회전방향을 따라 제1반입부, 제1레이저 가공부 및 제1반출부에 각각 이격되게 배치되는 제1회전판과, 제1회전판을 제1회전방향을 따라 회전시키는 회전구동유닛을 구비한다.</p> |
