A Chemically Amplified Positive Resist Composition
摘要
<p>본 발명에 따르면, (A) 노볼락 수지와, 분자 내에 2개 이상의 비닐에테르 구조를 갖는 화합물과, 치환될 수도 있는 1-알콕시알킬기 또는 2-옥소시클로알킬기로 분자 내의 수산기의 일부가 보호된 폴리(히드록시스티렌)을 반응시켜 얻어지는 수지, 및 (B) 산발생제를 함유하는 것을 특징으로 하는 화학 증폭형 포지티브형 레지스트 조성물이 제공된다.</p>
