| 摘要 |
1. Установка для электромагнитного литья кремния, включающая в себя печной сосуд, токопроводящий тигель, установленный внутри печного сосуда, а также элемент индукционной катушки, расположенный вокруг внешней поверхности токопроводящего тигля, причем внутри печного сосуда поддерживают постоянное давление определенного газа, а кремний, находящийся в токопроводящем тигле, перемещается вниз вдоль центральной линии печного сосуда и расплавляется за счет индукционного нагрева, создаваемого напряжением на клеммах, подаваемым на элемент индукционной катушки, образуя расплавленный кремний, после чего расплавленный кремний отверждается;отличающаяся тем, что элемент индукционной катушки содержит множество индукционных катушек с разной индукционной частотой, расположенных одна над другой, кремний в тигле расплавляется за счет индукционного нагрева, причем из множества индукционных катушек с разной индукционной частотой самая нижняя индукционная катушка имеет высокую индукционную частоту, которая не создает сильного эффекта перемешивания расплавленного кремния, поддерживая статическое состояние расплавленного кремния.2. Установка по п.1, в которой высокая индукционная частота самой нижней индукционной катушки составляет 25 кГц или более.3. Установка по п.1, в которой между множеством индукционных катушек с разной индукционной частотой установлен магнитный экран.4. Установка по пп.1, 2 или 3, в которой напряжение на клеммах, подаваемое на каждую из множества индукционных катушек, составляет 900 вольт или менее.5. Установка по пп.1, 2 или 3, в которой напряжение на клеммах, подаваемое на каждую индукционную катушку, � |
