| 摘要 |
1. Установка для очистки микро- и наносистем, состоящая из пульта управления, реактора с дроссельным клапаном и держателем, и компрессора, отличающаяся тем, что содержит баллон с углекислым газом, соединенный через компрессор с реактором, при этом реактор оборудован регулятором температуры и датчиком давления, а дроссельный клапан, компрессор, регулятор температуры и датчик давления соединены с пультом управления.2. Установка для очистки микро- и наносистем по п.1, отличающаяся тем, что дополнительно содержит генератор озона, соединенный с пультом управления и реактором. |
