| 摘要 |
<p>마스크의 수를 감소시킨 어레이 기판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 어레이 기판이 개시된다. 어레이 기판의 제조방법은 표시영역 및 표시영역의 외곽에 형성된 주변영역으로 구분된 베이스 기판 상에 실리콘 패턴을 형성하는 단계와, 실리콘 패턴의 화소 패턴부, 스토리지 패턴부 및 구동 패턴부 각각의 일부에 제1 불순물을 고농도로 주입하는 단계와, 실리콘 패턴의 상부에 게이트 금속패턴을 형성하는 단계와, 구동 패턴부의 다른 일부에 제2 불순물을 고농도로 주입하는 단계와, 화소 패턴부의 다른 일부에 제1 불순물을 저농도로 주입하는 단계와, 제1 불순물이 고농도로 주입된 화소 패턴부의 일부와 전기적으로 연결되는 화소전극을 형성하는 단계를 포함한다. 이와 같이, 제1 불순물이 화소 패턴부, 스토리지 패턴부 및 구동 패턴부에 동시에 고농도로 주입됨에 따라, 공정 상의 마스크 수를 줄일 수 있다.</p> |
