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Eine Schreibfläche einer Probe wird in eine Vielzahl von Streifen unterteilt, die eine Breite entsprechend einer Flächendichte eines Musters aufweisen, das mit einem Ladungsträgerstrahl auf der Probe zu schreiben ist. Das Schreiben wird gestoppt, wenn das Schreiben von zumindest einem Streifen beendet ist, und eine Driftgröße wird gemessen. Eine Bestrahlungsposition des Ladungsträgerstrahls wird unter Verwendung der Driftgröße korrigiert. Wenn der Durchschnittswert der Flächendichte größer als ein vorbestimmter Wert ist, weist ein Streifen eine Breite auf, die geringer als die Referenzbreite ist, und wenn der Durchschnittswert der Flächendichte geringer als der vorbestimmte Wert ist, weist der Streifen eine Breite auf, die größer als die Referenzbreite ist. Die Breite des Streifens ist bevorzugt eine Breite entsprechend der Variation einer Drift vom Beginn der Bestrahlung mit dem Ladungsträgerstrahl. |
