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Ein Verfahren zum Bestimmen einer Schleifenantwort für eine Vorrichtung für ein Rasterkraftmikroskop ist offenbart. Das Verfahren umfasst: Bestimmen einer Schleifenantwort für eine Auf-Oberfläche-Bewegung eines Auslegers über einen Frequenzbereich; Bestimmen einer Schleifenantwort für eine Weg-Von-Oberfläche-Bewegung des Auslegers über den Frequenzbereich; und Einstellen einer Ausgabe der Steuerung bei einer Frequenz basierend auf der Schleifenantwort für die Weg-Von-Oberfläche-Bewegung. Ein Rasterkraftmikroskop-System ist offenbart. |
