| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Kohärenzrasterinterferometer zur ortsaufgelösten optischen Vermessung der Höhengeometriedaten eines Objekts, umfassend eine optische Weglängenänderungseinheit, eine Messlichtquelle (11), ein Interferometer und einen Messdetektor (10) mit einer Detektionsfläche, welche Detektionsfläche eine Vielzahl von ortsverschiedenen Photosensoren aufweist, wobei das Interferometer mit der Messlichtquelle (11) und dem Messdetektor (10) derart zusammenwirkend ausgebildet ist, dass ein von der Messlichtquelle (11) erzeugter Ausgangsstrahl mittels eines Strahlteilers (6) des Kohärenzrasterinterferometers in einen Mess- und einen Referenzstrahl (18) aufgespaltet wird, der Messstrahl (17) flächig in eine Bildebene des Messdetektors, welche die Messebene des Kohärenzrasterinterferometers bildet, abgebildet wird, so dass in der Messposition bei in der Messebene angeordnetem Objekt der Messtrahl (17) flächig auf das Objekt (7) auftrifft und der von dem Objekt (7) zumindest teilweise reflektierte und/oder gestreute Messstrahl (17) wieder in den Strahlengang des Interferometers eingekoppelt und derart auf die Detektionsfläche des Messdetektors (10) abgebildet und mit dem Referenzstrahl (18) überlagert wird, dass der überlagerte Mess- und Referenzstrahl (18) die Vielzahl von Photosensoren flächig überdecken, wobei die optische Weglängenänderungseinheit ausgebildet ist zur Änderung des Abstandes zwischen Objekt und Messebene und wobei das Kohärenzinterferometer ausgebildet ist zur Abbildung des in Messebene angeordneten Objekts auf die Detektionsfläche mit einer Abbildungsschärfentiefe. Wesentlich ist, dass das Kohärenzrasterinterferometer zusätzlich eine Fokussierlichtquelle (1) umfasst, welche Fokussierlichtquelle (1) derart mit dem Kohärenzrasterinterferometer zusammenwirkend ausgebildet ist, dass ein von der Fokussierlichtquelle (1) ausgesandter Fokussierstrahl (19) mit einer Fokussierschärfentiefe über den Strahlteiler (6) in eine Bildebene der Fokussierquelle abgebildet wird, welche Bildebene der Fokussierquelle identisch mit der Bildebene des Messdetektors (10) ist und die Messebene des Kohärenzinterferometers bildet und dass der von dem Objekt (7) zumindest teilweise reflektierte und/oder gestreute Fokussierlichtstrahl auf einen Fokusdetektor (16) abgebildet wird, wobei die Fokussierschärfentiefe kleiner als die Abbildungsschärfentiefe ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Auffinden einer Messposition eines Kohärenzrasterinterferometers. |
