| 摘要 |
Es wird eine Laserbearbeitungsvorrichtung mit einem Laserstrahlaufteilungsmechanismus, der zwischen einem Laseroszillator und einer Fokussiereinheit vorgesehen ist, bereitgestellt. Der Laserstrahlaufteilungsmechanismus umfasst eine Verzweigungseinheit zum Verzweigen eines Laserstrahls in eine Vielzahl von Laserstrahlen, der durch das Laserstrahloszillationsmittel in Schwingung versetzt wurde. Die Verzweigungseinheit umfasst eine Halbwellenplatte zum 45°-Rotieren der Polarisationsebene des Laserstrahls, einen ersten Polarisationsstrahlteiler zum Aufteilen des Laserstrahls, der durch die Halbwellenplatte hindurchgegangen ist, in P polarisiertes Licht und S polarisiertes Licht, einen ersten Spiegel zum Reflektieren des P polarisierten Lichtes, welches durch den ersten Polarisationsstrahlenteiler erhalten wurde, einen zweiten Spiegel zum Reflektieren des S polarisierten Lichtes, welches durch den ersten Polarisationsstrahlenteiler erhalten wurde, einen zweiten Polarisationsstrahlenteiler zum Führen des P polarisierten Lichtes, welches durch den ersten Spiegel reflektiert wurde, und des S polarisierte Lichtes, welches durch den zweiten Spiegel reflektiert wurde, zu unterschiedlichen optischen Pfaden, die sich in die gleiche Richtung erstrecken, und einen Winkelanpassungsmechanismus zum Anpassen des Reflektionswinkels des P polarisierten Lichts und/oder des S polarisierten Lichts, das durch den ersten und zweiten Spiegel zu reflektieren ist. |
