| 摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bestimmen der Qualität von auf Substraten (3) aufgebrachten Schichten (4), insbesondere von auf Substraten (3) aufgebrachten Schichten (4) für Verschleißschutz, Korrosionsschutz, Dekoration, Photovoltaik, und/oder Lacken und Laminaten, wobei gepulstes Laserlicht erzeugt wird, mit welchem die Oberfläche der zu untersuchenden Schicht (4) ortsaufgelöst abgetastet wird, und ein von der Schicht (4) reflektiertes Strahlenbündel (6) erfasst wird und hinsichtlich der Intensität und/oder Phase und/oder Polarisation ausgewertet wird, wobei das Laserlicht derart gepulst wird, dass ein jeweils damit bestrahlter Schichtabschnitt (10) zyklisch alternierend erwärmt und zumindest teilweise abgekühlt wird. Dazu wird die Impulsdauer des Laserlichts so gewählt, dass zumindest kurzzeitig eine Temperaturerhöhung in der Schicht (4) bis zur Grenzschicht zwischen der Schicht (4) und dem darunter angeordneten Substrat (3) erfolgt. Der Impulsabstand wird derart eingestellt, dass sich die Schicht in dem jeweils bestrahlten Schichtabschnitt (10) abkühlen kann. Die Emissionswellenlänge des Laserlichts wird so gewählt, dass sich die Schicht zumindest teilweise optisch transparent für das einfallende Laserlicht verhält. |
