| 摘要 |
<p>본 발명의 산화아연 박막의 패터닝을 위한 식각액 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법은 투명전도성 산화물 중의 하나인 산화아연 박막을 습식각(wet etching)하는데 있어 증착온도에 따라 우수한 식각특성과 제어 가능한 식각속도를 가진 유기산-기반(organic acid-based) 식각액을 제공하기 위한 것으로, 0.02~2M의 포름산 수용액 및 0.0008~4M의 시트르산 수용액으로 이루어져 각각 80~250℃ 및 25~80℃로 증착된 산화아연계 투명도전막을 식각하여 소정의 패턴을 형성하는 것을 특징으로 한다.</p> |
