| 发明名称 | 研磨垫及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明的目的在于提供研磨速度大、并且至研磨速度稳定为止的时间短、进而厚度精度优良的研磨垫。一种研磨垫，在基材层上设置有研磨层，其特征在于，所述研磨层由具有平均气泡直径为35～200μm的近似球形的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成，所述研磨层，40℃下的储能弹性模量E’(40℃)为130～400MPa，30℃下的储能弹性模量E’(30℃)与60℃下的储能弹性模量E’(60℃)之比[E’(30℃)/E’(60℃)]为1以上且小于2.5，并且30℃下的储能弹性模量E’(30℃)与90℃下的储能弹性模量E’(90℃)之比[E’(30℃)/E’(90℃)]为15～130。 | ||
| 申请公布号 | CN102227289B | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN200980148107.8 | 申请日期 | 2009.12.24 |
| 申请人 | 东洋橡胶工业株式会社 | 发明人 | 福田武司;石坂信吉 |
| 分类号 | B24B37/24(2012.01)I;B24D18/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/24(2012.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 金龙河;樊卫民 |
| 主权项 | 一种研磨垫，在基材层上设置有研磨层，其特征在于，所述研磨层由具有平均气泡直径为35～200μm的近似球形的连续气泡的热固性聚氨酯发泡体形成，所述近似球形是指球形或长径与短径之比为5以下椭球形，所述研磨层，40℃下的储能弹性模量为130～400MPa，30℃下的储能弹性模量与60℃下的储能弹性模量之比为1以上且小于2.5，并且30℃下的储能弹性模量与90℃下的储能弹性模量之比为15～130，所述热固性聚氨酯发泡体为含有异氰酸酯成分和含活性氢化合物的氨基甲酸酯组合物的反应固化物，所述含活性氢化合物含有35～90重量%的羟值为150～400mgKOH/g的三官能和/或四官能多元醇。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||