具有温度感应功能的平板X射线探测器及其制备方法

摘要

本发明提供一种具有温度感应功能的平板X射线探测器，其包括平板探测器（101）以及位于平板探测器（101）下方的电路板（102）；所述平板探测器（101）包括玻璃衬底（203）、位于玻璃衬底（203）一侧的像素阵列（202）以及位于像素阵列（202）之上的闪烁体层（201）；所述电路板（102）包括电源管理电路板、系统控制电路板和信号读出电路板以及温度感应元件（303）的外围电路；该平板探测器（101）还包括位于玻璃衬底（203）另一侧由若干个具有自偏置结构的温度感应元件（303）构成的温度感应单元阵列（204）。本发明温度感应单元位于玻璃衬底的另一面，不增加像素面积、降低像素的开口率；同时更靠板X射线探测器的热源，通过温度校正之后的X射线影像更为精确。

主权项

具有温度感应功能的平板X射线探测器，所述平板X射线探测器包括平板探测器（101）以及位于平板探测器（101）下方的电路板（102）；所述平板探测器（101）包括玻璃衬底（203）、位于玻璃衬底（203）一侧的像素阵列（202）以及位于像素阵列（202）之上的闪烁体层（201）；所述电路板（102）包括电源管理电路板、系统控制电路板和信号读出电路板以及温度感应元件（303）的外围电路；其特征在于：该平板探测器（101）还包括位于玻璃衬底（203）另一侧由若干个具有自偏置结构的温度感应元件（303）构成的温度感应单元阵列（204）；所述温度感应元件（303）包括位于玻璃衬底（203）上的栅电极（304）；栅电极（304）上的栅电极介质层（305）；位于栅电极介质层（305）上阻值会随着温度的变化而改变的有源区（306）、位于有源区两端的源电极（307）和漏电极（308）以及包围所述温度感应元件（303）的钝化层。