发明名称 具有缆线平板的整合电容器
摘要 本发明提供一种于集成电路(IC)中的电容器(200),具有:形成于集成电路的一第一图案化金属层的一分配栅格(226)与连接至分配栅格且沿着一第一方向延伸而离开分配栅格的一第一垂直传导丝线(202)。一第二垂直传导丝线(203)连接至分配栅格且于相反方向延伸。第一与第二栅格平板(225、224)形成于第一图案化金属层的上方与下方的金属层。栅格平板环绕第一与第二垂直传导丝线。分配栅格、第一垂直传导丝线与第二垂直传导丝线连接且形成电容器的一第一节点的一部分,第一栅格平板与第二栅格平板连接且形成电容器的一第二节点的一部分。
申请公布号 CN102224567B 申请公布日期 2013.12.18
申请号 CN200980146568.1 申请日期 2009.10.23
申请人 吉林克斯公司 发明人 派克·J··昆恩
分类号 H01L21/02(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I;H01L27/08(2006.01)I;H01G4/228(2006.01)I;H01G4/30(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 黄灿;刘伟
主权项 一种于集成电路IC中的电容器,包含:该电容器的一第一节点的一分配栅格,形成于该集成电路的一第一图案化金属层;一第一垂直传导丝线,连接至该分配栅格且沿着仅透过该分配栅格连接该第一节点的一第一方向的一第一轴延伸而离开该分配栅格;一第二垂直传导丝线,连接该分配栅格且沿着相对该仅透过该分配栅格连接该第一节点的第一方向的一第二方向的该第一轴延伸而离开该分配栅格;该电容器的一第二节点的一第一栅格平板,形成于邻近于该第一图案化金属层的一第二图案化金属层,该第一栅格平板环绕于该第二图案化金属层的该第一垂直传导丝线;该电容器的该第二节点的一第二栅格平板,形成于邻近于该第一图案化金属层的一第三图案化金属层,该第一图案化金属层配置于该第二图案化金属层与该第三图案化金属层之间,该第二栅格平板环绕于该第三图案化金属层的该第二垂直传导丝线;其中该第一图案化金属层还包括连接且形成该第二节点的一第二部分的一周边遮蔽导线,其至少部分环绕于该第一图案化金属层的该分配栅格。
地址 美国加利福尼亚州