| 发明名称 | 钴靶材组件的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种钴靶材组件的制作方法，所述方法包括：提供钴靶材，所述钴靶材的钴含量大于90%；利用化学镀工艺，在所述钴靶材焊接面上形成镍镀层；将化学镀处理后的钴靶材焊接至背板。采用本发明的技术方案，可以提供结合牢固度高的钴靶材组件。 | ||
| 申请公布号 | CN103451606A | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201210182775.6 | 申请日期 | 2012.06.01 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;潘靖 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C18/32(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种钴靶材组件的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供钴靶材，所述钴靶材的钴含量大于90%；利用化学镀工艺，在所述钴靶材焊接面上形成镍镀层；将化学镀处理后的钴靶材焊接至背板。 | ||
| 地址 | 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路198号 | ||