基板的垂直搬送装置

摘要

本发明是有关于一种防止基板从定位部往拾取部载移时位置偏移的基板的垂直搬送装置。具备：具有支持构件及调整载置于该支持构件上的基板位置的定位单元的定位装载机、可对载置于支持构件上的基板进行吸附并使其上升及下降的吸附升降单元以及将基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送的拾取步骤传送部；借由吸附升降单元的下降动作，进行基板的从定位装载机往拾取步骤传送部的载换。

主权项

一种基板的垂直搬送装置，其特征在于具备：定位装载机，具有支持构件以及调整载置于该支持构件上的基板的位置的定位单元；吸附升降单元，可对载置于该支持构件上的基板进行吸附，并使其上升及下降；以及拾取步骤传送部，将该基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送；借由该吸附升降单元的下降动作，进行基板的从该定位装载机往该拾取步骤传送部的载换。