| 发明名称 | 反射式光罩及光罩素材 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种反射式光罩及光罩素材，该光罩包含一基板、一第一反射复层、一第二反射复层、一第一图案化吸收层及一第二图案化吸收层。基板包含一第一表面和一第二表面，其中该第一表面与该第二表面是相对。第一反射复层形成于基板的第一表面上。第二反射复层形成于基板的第二表面上。第一图案化吸收层形成于第一反射复层上。第二图案化吸收层形成于第二反射复层上。 | ||
| 申请公布号 | CN103454849A | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201310218892.8 | 申请日期 | 2013.06.04 |
| 申请人 | 南亚科技股份有限公司 | 发明人 | 张家铭 |
| 分类号 | G03F1/24(2012.01)I;G03F1/58(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/24(2012.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 赵根喜;李昕巍 |
| 主权项 | 一种反射式光罩，包含：一基板，包含一第一表面和一第二表面，其中该第一表面与该第二表面是相对；一第一反射复层，形成于该第一表面上；一第二反射复层，形成于该第二表面上；一第一图案化吸收层，形成于该第一反射复层上；以及一第二图案化吸收层，形成于该第二反射复层上。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||