纳米颗粒沉积系统

摘要

纳米颗粒沉积系统包括以下中的一个或多个：材料的空心靶；提供磁场的至少一个旋转磁体，所述磁场控制离子的运动以及来自释放原子的纳米颗粒的结晶；纳米颗粒收集设备，所述纳米颗粒收集设备在衬底上收集结晶纳米颗粒，其中所述衬底和至少靶之间的相对运动将衬底的新表面区域连续暴露于结晶纳米颗粒；空心阳极，其中靶至少部分地在空心阳极内；或提供第一种材料的第一种纳米颗粒的第一纳米颗粒源以及提供第二种材料的第二种纳米颗粒的第二纳米颗粒源。

主权项

一种空心靶纳米颗粒沉积系统，包括：材料的空心靶；将离子化气体提供给空心靶的内部的气体源；施加到至少所述空心靶且导致来自离子化气体的离子撞击空心靶的内表面并且释放材料的原子的电势；提供磁场的至少一个磁体，所述磁场控制离子的运动以及来自释放原子的纳米颗粒的结晶；以及空心靶的出口，在该出口处结晶纳米颗粒离开空心靶。