一种室温工作的高性能氮氧化物气敏元件

摘要

本实用新型公开了一种室温工作的高性能氮氧化物气敏元件，硅基片衬底为n型单面抛光的单晶硅基片，硅基片衬底的上面依次设置有多孔硅层、氧化钨薄膜和铜薄膜，铜薄膜的上表面设置有铂电极正极和铂电极负极。本实用新型可在室温工作，且对超低浓度（ppb级）的氮氧化物气体具有很高的选择性，可以实现高灵敏度的可逆快速探测；其体积小巧、使用方便，重复性强，有望在氮氧化物气体传感器领域获得推广应用。

主权项

一种室温工作的高性能氮氧化物气敏元件，包括硅基片衬底、多孔硅层和铂电极，其特征在于，所述硅基片衬底(1)为n型单晶硅基片，硅基片衬底(1)的上面设置有多孔硅层(2)，多孔硅层(2)上表面设置有氧化钨薄膜(3)，氧化钨薄膜(3)的上面设置有铜薄膜(4)，铜薄膜(4)的上表面设置有铂电极正极(5)和铂电极负极(6)。