扫描电镜中具有多级机械对准机构的对准装置及其方法

摘要

本发明的目的是提供一种对准装置、包含所述对准装置的扫描电镜以及在所述扫描电镜中用于对多级透镜进行对准的方法。根据本发明的对准装在包括：多级机械对准机构，其中每级对准机构具有多维度机械式调整装置，其中包括：第一级对准机构，用于将电子源进行多维度位移调整，以与第一级透镜进行光轴对准；其他各级对准机构，用于将所述电子源及已对准的前面各级透镜作为整体进行多维度位移调整，以与该级透镜进行光轴对准。本发明的优点如下：1)通过采用所述对准装置，可便捷地实现扫描电镜中各个透镜的对准，操作方式较为简便；2)该对准装置所需成本较低，对准结果不易受到时间或温度等因素的影响，较为稳定。

主权项

一种在扫描电镜中的对准装置，其中，该扫描电镜包括电子源与多级透镜，其中，该对准装置包括：多级机械对准机构，其中每级对准机构具有多维度机械式调整装置，其中包括：第一级对准机构，用于将电子源进行多维度位移调整，以与第一级透镜进行光轴对准；其他各级对准机构，用于将所述电子源及已对准的前面各级透镜作为整体进行多维度位移调整，以与该级透镜进行光轴对准。