发明名称 |
用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统 |
摘要 |
本申请提供一种用于微机电系统MEMS设备的驱动器及MEMS系统。所述驱动器可包括:第一输入端,被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号;第二输入端,被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号;以及放大器,被配置为接收高压电源,在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号,以及,在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 |
申请公布号 |
CN203349832U |
申请公布日期 |
2013.12.18 |
申请号 |
CN201320185461.1 |
申请日期 |
2013.04.12 |
申请人 |
快捷半导体(苏州)有限公司;快捷半导体公司 |
发明人 |
H·陶;约恩·奥普里斯 |
分类号 |
G01C19/56(2012.01)I |
主分类号 |
G01C19/56(2012.01)I |
代理机构 |
北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 |
代理人 |
武晨燕;张颖玲 |
主权项 |
一种用于微机电系统MEMS设备的驱动器,包括: 第一输入端,被配置为接收包括振荡指令信号的第一指令信号; 第二输入端,被配置为接收包括偏置指令信号的第二指令信号;以及 放大器,被配置为接收高压电源,所述放大器被配置为:在第一状态下向所述MEMS设备提供响应于所述第一指令信号和所述第二指令信号的闭合回路输出信号,以及,在第二状态下提供配置为基本跨越所述高压电源的电压范围的开放回路输出信号。 |
地址 |
215021 江苏省苏州市苏州工业园区苏桐路1号 |