发明名称 |
一种MEMS器件夹具 |
摘要 |
本实用新型公开了一种MEMS器件夹具,其特征在于:包括底座(1)以及设置在底座(1)上的至少一个移动卡槽(3)与至少一个齿状固定装置(8),所述齿状固定装置(8)固定在底座(1)上,所述移动卡槽(3)能沿底座(1)表面移动并与齿状固定装置(8)配合形成放置器件的空腔,所述移动卡槽(3)通过固定装置固紧在底座上。本实用新型设计结构简约,使用方便,易于实施,便于大规模工业推广。由于可以多个移动卡槽并列排布,因此彻底解决了单颗或多颗MEMS管芯工艺时所遇到的管芯损坏、样品混淆以及样品丢失等问题,是一种非常实用的MEMS器件夹具。本实用新型制造成本低廉,经济效益好。 |
申请公布号 |
CN203346068U |
申请公布日期 |
2013.12.18 |
申请号 |
CN201320392365.4 |
申请日期 |
2013.07.01 |
申请人 |
无锡华润上华半导体有限公司 |
发明人 |
胡永刚 |
分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81C1/00(2006.01)I |
代理机构 |
无锡互维知识产权代理有限公司 32236 |
代理人 |
王爱伟 |
主权项 |
一种MEMS器件夹具,其特征在于:包括底座(1)以及设置在底座(1)上的至少一个移动卡槽(3)与至少一个齿状固定装置(8),所述齿状固定装置(8)固定在底座(1)上,所述移动卡槽(3)能沿底座(1)表面移动并与齿状固定装置(8)配合形成放置器件的空腔,所述移动卡槽(3)通过固定装置固紧在底座(1)上。 |
地址 |
214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号 |