涂布装置

摘要

本发明提供一种涂布装置，即使碰撞对象物混过保护部件也能够防止管头部的狭缝喷嘴受损，该装置包括：平台，用于载置基板；涂布单元，相对于在所述平台上载置的基板相对移动的同时从狭缝喷嘴排出涂布液而在基板上形成涂布膜；保护单元，与所述狭缝喷嘴相比设置在靠涂布方向进行一侧上，保护喷嘴不被碰撞对象物损害；其中，所述保护单元包括多个保护部件，所述保护部件具有至少狭缝喷嘴的长尺寸方向尺寸以上的尺寸且呈沿着狭缝喷嘴的形状，在这些保护部件中，在最靠近涂布方向进行一侧配置的前头保护部件和与该前头保护部件相比配置在涂布方向后方一侧的后方保护部件之间，设置有捕捉碰撞对象物的捕捉收纳部。

主权项

一种涂布装置，包括：平台，用于载置基板；涂布单元，相对于在所述平台上载置的基板相对移动的同时从喷嘴排出涂布液而在基板上形成涂布膜；保护单元，与所述喷嘴相比设置在靠涂布方向进行一侧上，保护喷嘴不被碰撞对象物损害；其中，所述保护单元包括多个保护部件，所述保护部件具有至少喷嘴的长尺寸方向尺寸以上的尺寸且呈沿着喷嘴的形状，在这些保护部件中，在最靠近涂布方向进行一侧配置的前头保护部件和与该前头保护部件相比配置在涂布方向后方一侧的后方保护部件之间，设置有捕捉碰撞对象物的捕捉收纳部。