| 摘要 |
개시되어 있는 것은, 표면에 미세한 요철 패턴이 형성된 웨이퍼에 있어서 당해 요철 패턴의 적어도 오목부 표면의 일부가 티탄, 질화티탄, 텅스텐, 알루미늄, 구리, 주석, 질화탄탈, 루테늄, 및 실리콘으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 물질을 포함하는 웨이퍼의 세정시에, 적어도 상기 오목부 표면에 발수성 보호막을 형성하기 위한 발수성 보호막 형성제를 포함하는 약액으로서, 당해 발수성 보호막 형성제가 비수용성의 계면 활성제인 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 발수성 보호막 형성용 약액이다. 이 약액에 의해 형성되는 발수성 보호막은 세정 공정에 있어서의 웨이퍼의 패턴 붕괴를 방지할 수 있다. |
