| 发明名称 | 基板输送装置和基板处理系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种基板输送装置，以极力防止因颗粒造成的基板污染。在叉主体(115)上，安装有作为扩散防止部件的扩散防止罩(121)。扩散防止罩(121)具有截止因滑动块(123)和线性引导件(119)摩擦而产生并落下的颗粒的底壁部(121a)和从该底壁部(121a)大致垂直立起的侧壁部(121b)。侧壁部(121b)与底壁部(121a)同样地截止颗粒，并封锁颗粒，以不向外部飞散。 | ||
| 申请公布号 | CN102163569B | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201010576268.1 | 申请日期 | 2010.12.01 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 驹田秀树 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种基板输送装置，其支撑并输送基板，其特征在于，包括：第一部件；相对于该第一部件能够滑动地设置的、支撑基板的第二部件；和设置在所述第一部件上的扩散防止部件，利用所述扩散防止部件，在使所述第二部件滑动的滑动部位和外部的基板输送空间之间形成窄路，防止在所述滑动部位产生的污染源物质向所述基板输送空间扩散，其中，在所述第一部件上，以在与所述第二部件的滑动方向正交的方向上伸出的方式设置所述扩散防止部件，以覆盖所述第二部件的侧面的一部分或者全部的方式设置所述扩散防止部件。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||