发明名称 一种大型凹面镜片清洗装置及方法
摘要 本发明提供的一种大型凹面镜片清洗装置包括可旋转推车、毛刷旋转清洗机构、喷淋系统、风刀系统、毛刷清洗装置、清洗管路系统及电控单元。本发明还提供了一种大型凹面镜片清洗方法。本发明具有以下优点:一、本装置各零部件均为常见机械结构,加工装配容易实现;二、本装置可通过改变镜片转速、毛刷转速、毛刷高度、刷洗时间等参数,对清洗效果进行控制;设备工艺开放度高;三、本装置可兼容实现多种尺寸凹面镜的清洗功能,也可实现其它定制功能。
申请公布号 CN103447264A 申请公布日期 2013.12.18
申请号 CN201310398147.6 申请日期 2013.09.04
申请人 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 发明人 李敏
分类号 B08B7/04(2006.01)I;B08B1/02(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B21/00(2006.01)I 主分类号 B08B7/04(2006.01)I
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人 翁若莹
主权项 一种大型凹面镜片清洗装置,其特征在于,包括:带有旋转机构的可旋转推车(1),大型凹面镜片置于该旋转机构上,大型凹面镜片由该可旋转推车推进或移出设备工作区域,并由旋转机构带动大型凹面镜片绕其自身轴线旋转;毛刷旋转清洗机构(2),位于进入设备工作区域的可旋转推车(1)的上方,至少包括毛刷、水平移动机构、竖直移动机构、毛刷旋转机构及毛刷位置监控单元,由水平移动机构带动毛刷及毛刷位置监控单元在水平方向上做左右移动,由竖直移动机构带动毛刷在竖直方向上做上下运动,由毛刷旋转机构带动毛刷绕自身轴线旋转,由毛刷位置监控单元检测毛刷相对于大型凹面镜片的高度变化;喷淋系统(3),用于向大型凹面镜片的表面喷洒清洗剂或纯水;风刀系统(4),依靠风刀出口的高速风流,带走大型凹面镜片表面的水珠或水膜,实现快速干燥;毛刷清洗装置(5),用于对毛刷旋转清洗机构(2)的毛刷进行自清洗及干燥;清洗管路系统(6),用于向毛刷清洗装置(5)及喷淋系统(3)提供清洗剂或纯水;电控单元(7),用于控制可旋转推车(1)的旋转机构、毛刷旋转清洗机构(2)、喷淋系统(3)、风刀系统(4)、毛刷清洗装置(5)及清洗管路系统(6)。
地址 201108 上海市闵行区春中路56号