制备三氯氢硅的设备

摘要

本发明公开了一种用于制备三氯氢硅的设备，该设备包括：氯氢化合成反应装置，所述氯氢化合成反应装置用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物；第一精馏纯化装置，所述第一精馏纯化装置用于对所述包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理，以便获得三氯氢硅和第一精馏残液。利用该设备能够有效地制备获得三氯氢硅，并且该设备涉及的工艺简单、安全、节能环保、成本低，且生产的三氯氢硅纯度高，产生的尾气和废渣能够被再次利用，从而达到环保要求。

主权项

一种用于制备三氯氢硅的设备，其特征在于，包括：氯氢化合成反应装置，所述氯氢化合成反应装置用于使硅粉、氢气以及选自氯化氢与四氯化硅的至少一种发生氯氢化合成反应，以便获得包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物；以及第一精馏纯化装置，所述第一精馏纯化装置与所述氯氢化合成反应装置相连，用于对所述包含三氯氢硅的氯氢化合成反应产物进行第一精馏纯化处理，以便获得三氯氢硅和第一精馏残液。