发明名称 |
使石墨烯顺应目标基板 |
摘要 |
通过以下方式将石墨烯层从过渡金属基板转移到目标基板的方法和装置:将位于过渡金属基板上的石墨烯层部结合到目标基板,经由化学蚀刻或电化学蚀刻去除所述过渡金属基板,通过施加流体静压使石墨烯层顺应目标基板。所述装置能够容纳目标基板和包括过渡金属基板和石墨烯层的片材,装置壳体包括:背板、保持环和可渗透织物。 |
申请公布号 |
CN103460364A |
申请公布日期 |
2013.12.18 |
申请号 |
CN201180069687.9 |
申请日期 |
2011.04.13 |
申请人 |
英派尔科技开发有限公司 |
发明人 |
T·A·亚格尔 |
分类号 |
H01L21/64(2006.01)I;B82Y30/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;B32B7/10(2006.01)I;C01B31/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/64(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
吕俊刚;刘久亮 |
主权项 |
一种方法,该方法包括以下步骤:设置片材,所述片材包括石墨烯层部和过渡金属基板部,其中,所述石墨烯层部位于所述过渡金属基板部上;将所述片材的所述石墨烯层部结合到目标基板;从所述片材的所述石墨烯层部去除所述片材的所述过渡金属基板部;以及使所述石墨烯层顺应所述目标基板,以至少部分地基于施加流体静压形成目标基板上石墨烯组件。 |
地址 |
美国特拉华州 |