PM2.5检测装置及其制造方法

摘要

本发明涉及一种PM2.5检测装置及其制造方法，其包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构，所述颗粒分离机构的出口端与PM2.5检测机构的入口端连接，所述PM2.5检测机构包括检测腔体，所述检测腔体的外侧设置检测光源及光探测器，检测光源发出的光线通过检测腔体上的光入射窗口进入检测腔体内，光探测器通过检测腔体上的光出射窗口接收检测腔体内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。本发明与常规MEMS工艺相兼容，工艺简单方便，可提高PM2.5检测的精度及有效性，小型化的结构使其具有便携性和实时检测的特点，适应范围广，安全可靠。

主权项

一种PM2.5检测装置，其特征是：包括用于将所需定量空气中大于2.5μm的颗粒过滤去除的颗粒分离机构（A）以及用于对所述定量空气中PM2.5含量实施检测的PM2.5检测机构（B），所述颗粒分离机构（A）的出口端与PM2.5检测机构（B）的入口端连接，所述PM2.5检测机构（B）包括检测腔体（18），所述检测腔体（18）的外侧设置检测光源（20）及光探测器（21），检测光源（20）发出的光线通过检测腔体（18）上的光入射窗口（22）进入检测腔体（18）内，光探测器（21）通过检测腔体（18）上的光出射窗口（23）接收检测腔体（18）内经PM2.5颗粒吸收、散射后的出射光线，所述光探测器（21）根据出射光线的强度确定并输出PM2.5的浓度值。