一种沉积炉管及沉积薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种沉积炉管及沉积薄膜的方法，其中沉积炉管包括：炉体、气体反应腔、通气管道、抽气泵、温度控制器和晶舟，所述通气管道贯穿于气体反应腔，且所述通气管道上有至少两个通气孔。通过本发明的方案，由于通气管道贯穿于气体反应腔，且通气管道上开有至少两个通气孔，因此，在保持炉体内温度相同的情况下，利用所述通气管道向沉积炉管输送反应气体时，保证了气体反应腔内各个区域气流的相对平衡、气体浓度的相对均衡，进而使得晶圆表面沉积的薄膜厚度相同的同时，薄膜性质是一致的，提高了产品的良率。

主权项

一种沉积炉管，包括：炉体、气体反应腔、通气管道、抽气泵、温度控制器和晶舟，其特征在于，所述通气管道贯穿于气体反应腔，且所述通气管道上有至少两个通气孔。