多晶压力传感器芯片及其制备方法

摘要

本发明提供一种多晶压力传感器芯片。该多晶压力传感器芯片内部设置有压力传感器电路，以及与所述压力传感器电路电性连接以补偿因温度变化而导致的电压漂移的补偿元件。本发明还提供该芯片的制备方法。本发明所述的压力传感器芯片内部设置有补偿因温度变化而导致的电压漂移的补偿元件，使得该芯片的补偿能力较佳。

主权项

一种多晶压力传感器芯片，其特征在于，所述芯片内部设置有压力传感器电路，以及与所述压力传感器电路电性连接以补偿因温度变化而导致的电压漂移的补偿元件。