发明名称 |
压电多层部件 |
摘要 |
本发明涉及一种作为中间产品的压电多层部件,其具有上下相叠布置的未烧结的压电陶瓷层(2)的叠层(1)。第一电极层(3a)施加在压电陶瓷层(2)上并且包含第一金属。结构化的牺牲层(4)施加在另一压电陶瓷层上,在叠层方向上与所述第一电极层相邻,并且与所述第一电极层相比包含更高浓度的第一金属。如果烧结所述中间产品,则所述结构化的牺牲层(4)中的第一金属扩散到第一电极层并且与此同时留下空腔,所述空腔形成脆弱层。 |
申请公布号 |
CN101978519B |
申请公布日期 |
2013.12.18 |
申请号 |
CN200980110311.0 |
申请日期 |
2009.01.22 |
申请人 |
埃普科斯股份有限公司 |
发明人 |
O·德诺夫泽克;A·格拉朱诺夫 |
分类号 |
H01L41/083(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I;H01L41/273(2013.01)I |
主分类号 |
H01L41/083(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
张涛;李家麟 |
主权项 |
一种作为中间产品的压电多层部件,具有:‑上下相叠布置的未烧结的压电陶瓷层(2)的叠层(1),其中,‑第一电极层(3a)施加在第一压电陶瓷层(2)上并且包含第一金属,其中,‑牺牲层(4)施加在第二压电陶瓷层上并且在叠层方向上与所述第一电极层相邻,其中,‑所述牺牲层(4)与所述第一电极层(3a)相比包含更高浓度的第一金属,其中所述压电多层部件包括施加到第三压电陶瓷层的第二电极层,其中所述第二电极层包含与牺牲层相同或者几乎相同浓度的第一金属,和其中所述牺牲层不能作为电极层起作用,其中浓度表示相应电极层中金属的重量份额。 |
地址 |
德国慕尼黑 |