用于形成适合用于微电子器件的磷属元素化物组合物的方法

摘要

本发明提供了制造磷属元素化物组合物、特别是光活性的和/或半导体的磷属元素化物的方法。在许多实施方式中，这些组合物是待整合到广泛的微电子器件中的生长在广泛的合适衬底上的薄膜的形式，所述微电子器件包括光伏器件、光电探测器、发光二极管、β辐生伏特器件、热电器件、晶体管、其他光电子器件等等。总的来说，本发明从合适的源化合物制备这些组合物，其中在第一加工区中蒸气流源自于源化合物，所述蒸气流在不同于第一加工区的第二加工区中进行处理，然后处理过的蒸气流，任选与一种或多种其他成分组合，用来在合适的衬底上生长磷属元素化物薄膜。

主权项

形成磷属元素化物组合物的方法，所述方法包括以下步骤：(a)提供至少一种磷属元素化物源化合物，所述磷属元素化物源化合物包含至少一种磷属元素和至少一种磷属元素以外的元素；(b)在第一加工区中在第一条件下，以有效生成至少部分源自于所述磷属元素化物源化合物的蒸气流的方式处理所述磷属元素化物源化合物；(c)在第二加工区中在第二条件下，以有效分解至少一部分所述蒸气流的方式处理所述蒸气流；和(d)利用包含至少所述处理的蒸气流的成分形成磷属元素化物组合物。