一种硅片预定位装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片预定位装置，包括用于传送硅片的两根同步带，所述两根同步带之间设有一个用于在X方向上调整硅片偏移的停止气缸，所述停止气缸的垂直升降活塞连接有两根平行且竖置的挡杆，两根档杆之间设有一个用于在硅片预定位后托举所述硅片的真空机械臂，所述两根同步带外侧各设有一个用于在Y方向上调整所述硅片偏移的双连杆夹紧气缸，两个双连杆夹紧气缸位置相对，所述两个双连杆夹紧气缸的伸出端上均固定有用于夹持所述硅片的夹块。本实用新型缩短了后续高精度定位所需时间，提高了生产效率，并且使得设备能够采用更加精密的定位系统。

主权项

一种硅片预定位装置，包括用于传送硅片的两根同步带，其特征在于，所述两根同步带之间设有一个用于在X方向上调整硅片偏移的停止气缸，所述停止气缸的垂直升降活塞连接有两根平行且竖置的挡杆，两根档杆之间设有一个用于在硅片预定位后托举所述硅片的真空机械臂，所述两根同步带外侧各设有一个用于在Y方向上调整所述硅片偏移的双连杆夹紧气缸，两个双连杆夹紧气缸位置相对，所述两个双连杆夹紧气缸的伸出端上均固定有用于夹持所述硅片的夹块。