一种微机械加速度开关

摘要

本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块周围；过载保护结构固定在绝缘衬底上，位于质量块顶角处；折叠梁位于质量块四周，其两端分别与质量块和锚区相连，并与质量块一起被悬空；触点固定在质量块正中，位于两根信号传输线端头的正下方，并与之有间隙。本发明可有效改善开关的接触性能，提高开关的抗冲击性能，结构简单、制作容易，可广泛应用在微机电系统领域。

主权项

一种微机械加速度开关，包括有绝缘衬底、以及在绝缘衬底上形成的信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构；其特征在于：所述开关通过体硅工艺与键合工艺制备得到；所述质量块悬空于绝缘衬底上，所述的质量块为长方体结构，长500‑3000微米、宽500‑3000微米、高10‑450微米；所述信号传输线有两根，固定在绝缘衬底上，是在绝缘衬底上直接溅射或电镀金、铝、铜金属材料形成的，分别与外电路两极连接，两根信号传输线的端头不接触，并位于质量块上方；所述锚区固定在绝缘衬底上，分布于质量块周围，并分别通过悬空的折叠梁与质量块进行连接；所述过载保护结构固定在绝缘衬底上，分布于质量块顶角处，并位于锚区内侧，靠近质量块，并与之留有间距，在开关受到非敏感方向即绝缘衬底表面切向方向的强烈冲击后，用于限制质量块的位移； 所述触点是具有导电性的长方体结构，固定在质量块正中，位于两根信号传输线端头的正下方，并与之有间隙，触点的截面大于两根信号传输线端头相距的尺寸，长10‑300微米、宽 10‑300微米、高1‑50微米。