| 发明名称 | 一种等离子体刻蚀机反应腔均匀环倾斜警报装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种等离子体刻蚀机反应腔均匀环倾斜警报装置，包括：至少两个并联的触发器，所述并联的触发器的一端连接电源，另一端连接报警器，所述报警器的另一端接地。本发明可有效避免造成较大的损失并可有效节省人力成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102315085B | 申请公布日期 | 2013.12.18 |
| 申请号 | CN201010216455.9 | 申请日期 | 2010.06.30 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 傅俊 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种等离子体刻蚀机反应腔均匀环倾斜警报装置，其特征在于，包括：至少两个并联的触发器，所述并联的触发器的一端连接电源，另一端连接报警器，所述报警器的另一端接地；所述并联的触发器均包括第一金属薄片、第二金属薄片和第三金属薄片，所述第一金属薄片和第三金属薄片平行排列；第二金属薄片位于第一金属薄片和第三金属薄片之间且同所述第一金属薄片和第三金属薄片不接触，当所述第二金属薄片发生倾斜时可同所述第一金属薄片或第三金属薄片相接触；所述第二金属薄片安装于支撑均匀环的连杆中的其中一根上，所述位于第二金属薄片两侧的第一金属薄片和第三金属薄片安装于所述等离子体刻蚀机反应腔的外壁上。 | ||
| 地址 | 100176 北京经济技术开发区文昌大道18号 | ||