发明名称 APPARATUS, SYSTEMS AND METHODS FOR PROCESSING SIGNALS BETWEEN A TESTER AND A PLURALITY OF DEVICES UNDER TEST AT HIGH TEMPERATURES AND WITH SINGLE TOUCHDOWN OF A PROBE ARRAY
摘要 <p>테스터 및 다수의 테스트 대상 디바이스(devices under test : DUT) 사이의 신호를 처리하는 장치(100)가 제공된다. 일 실시예에서, 장치(100)는 적어도 하나의 멀티칩 모듈(102)을 포함한다. 각각의 멀티칩 모듈(102)은, 상기 테스터에 대한 제 1 커넥터 세트(106) 및 상기 다수의 테스트 대상 디바이스에 대한 제 2 커넥터 세트(108) 사이에 다수의 마이크로 전기 기계적 스위치(a plurality of micro-electromechanical switches)(104)를 갖는다. 적어도 하나의 드라이버(110)는 상기 다수의 마이크로 전기 기계적 스위치(104)의 각각을 선택적으로 동작시키도록 제공된다. 테스터 및 다수의 테스트 대상 디바이스 사이의 신호를 처리하는 방법(800)이 제공된다. 일 실시예에서, 방법(800)은 상기 테스터 및 상기 다수의 테스트 대상 디바이스를 적어도 하나의 멀티칩 모듈에 의해 접속하는 단계(802)를 포함한다. 상기 적어도 하나의 멀티칩 모듈의 각각은, 상기 테스터에 대한 제 1 커넥터 세트 및 상기 테스트 대상 디바이스에 대한 제 2 커넥터 세트 사이에 다수의 마이크로 전기 기계적 스위치를 갖는다. 방법(800)은 상기 마이크로 전기 기계적 스위치를 각각 동작시키는 단계(804)를 포함한다. 다른 실시예가 또한 개시된다.</p>
申请公布号 KR101342178(B1) 申请公布日期 2013.12.16
申请号 KR20070039249 申请日期 2007.04.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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