| 摘要 |
<p>본 발명은 너트의 내경 표면처리 방법 및 너트의 내경 표면처리 장치에 관한 것으로, 특히 반도체 장비 중 고순도 특수 가스 라인 밸브 부품 등에 사용되는 너트의 내경 표면처리 방법 및 너트의 내경 표면처리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 너트의 내경 표면처리 방법은, 스테인리스강 재질의 너트를 가공하는 제1 단계; 스테인리스강 활성화 전처리와, 니켈 스트라이크 전처리를 통하여 너트의 표면을 활성화하는 제2 단계; 전해도금조에서, 너트의 내경이 상하 방향을 향하도록 배치하고 너트를 음극에 연결한 후, 너트의 내경 빈 공간에 상하 방향으로 양극을 배치하고, 표면 도금액을 너트 내경의 상측에서 하측 또는 너트 내경의 하측에서 상측으로 순환시켜 전해도금하는 제3 단계; 및 너트의 외경을 버핑하는 제4 단계를 포함한다. 본 발명의 너트의 내경 표면처리 방법 및 너트의 내경 표면처리 장치는, 전해도금조의 구성을 개선하여 너트의 도금 균일성을 향상시킬 수 있으며, 기포 발생에 의한 불량 방지를 도모할 수 있는 효과가 있다.</p> |
