Slurry for polishing phase changeable meterial and method for patterning polishing phase changeable meterial using the same

摘要

이와 같이 연마재, 알칼리성 연마 향상재를 사용하여 슬러리의 pH를 조절할 수 있고, 상변환 물질의 연마율을 향상시키고, 상변환 물질과 절연층 간의 연마 선택비를 증대시킬 수 있다.