发明名称 Resist stripper composition and a method of stripping resist using the same
摘要 <p>본 발명은 비수계 레지스트 박리액 조성물로서, 전체 조성물 총중량에 대하여 알칸올 아민 화합물 5~30중량%, 글리콜 에테르 화합물 50~90중량%, 히드록시 벤젠화합물 0.1~10중량% 및 아졸계 화합물 0.1~10중량%를 포함하는 레지스트 박리액 조성물 및 이를 이용한 박리방법에 관한 것이다.</p>
申请公布号 KR101341701(B1) 申请公布日期 2013.12.16
申请号 KR20080006057 申请日期 2008.01.21
申请人 发明人
分类号 G03F7/34 主分类号 G03F7/34
代理机构 代理人
主权项
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