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<p>구리 또는 구리 합금 상에서도 변색을 일으키지 않는 경화막을 부여하는 감광성 수지 조성물, 그 감광성 수지 조성물을 사용하여 패턴을 형성하는 경화 릴리프 패턴의 제조 방법 그리고 반도체 장치의 제공.(A) 폴리이미드 전구체인 폴리아미드산, 폴리아미드산에스테르, 폴리옥사졸 전구체가 될 수 있는 폴리하이드록시아미드, 폴리아미노아미드, 폴리아미드, 폴리아미드이미드, 폴리이미드, 폴리벤조옥사졸, 폴리벤조이미다졸, 폴리벤즈티아졸로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 수지：100 질량부, (B) 푸린 유도체：그 (A) 수지 100 질량부를 기준으로 하여 0.01∼10 질량부, 그리고 (C) 감광제：그 (A) 수지 100 질량부를 기준으로 하여 1∼50 질량부를 함유하는 감광성 수지 조성물.</p> |
