发明名称 |
Steuern eines Herstellungsprozesses mit einem multivariaten Modell |
摘要 |
<p>Es werden ein Verfahren, ein Controller und ein System zum Steuern eines (diskontinuierlichen oder kontinuierlichen) Herstellungsprozesses mit einem multivariaten Modell beschrieben. Abhängige variable Daten und manipulierte variable Daten werden empfangen. Abhängige variable Daten stellen Werte von ungesteuerten Prozessparametern von mehreren Sensoren dar. Manipulierte variable Daten stellen gesteuerte oder Sollwerte von steuerbaren Prozessparametern von mehreren Prozesswerkzeugen dar. Ein vorhergesagter betrieblicher Wert und/oder eine multivariate Statistik werden auf der Grundlage der empfangenen Daten bestimmt, und Betriebsparameter des Herstellungsprozesses werden auf der Grundlage der vorhergesagten Wertung und/oder der multivariaten Statistik bestimmt.</p> |
申请公布号 |
DE112010000703(T9) |
申请公布日期 |
2013.12.12 |
申请号 |
DE20101100703T |
申请日期 |
2010.01.20 |
申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
WOLD, SVANTE BJARNE;MCCREADY, CHRISTOPHER PETER |
分类号 |
G05B13/04 |
主分类号 |
G05B13/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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