Magnetron-Beschichtungsmodul sowie Magnetron-Beschichtungsverfahren

摘要

Magnetron-Beschichtungsmodul (100), umfassend a) eine erste Beschichtungsquelle (2), b) ein rotierendes Target (5) als Hilfssubstrat, das zwischen der ersten Beschichtungsquelle (2) und dem Magnetron (5, 6) angeordnet ist, c) ein Magnetron (5, 6), wobei das rotierende Taget (5) die Kathode des Magnetrons (5, 6) bildet, sowie d) eine Gasraumtrennung (4) zwischen erster Beschichtungsquelle (2) und dem Beschichtungsbereich (6) am Substrat, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest die Oberfläche des rotierenden Targets (5) Kohlenstoff enthält.