Beschichtetes Substrat und ein dieses umfassendes Produkt und Verfahren zur Herstellung und Verwendung desselben

摘要

Eine Ausführungsform kann ein Produkt mit einem Substrat und einer Spannfeder über dem Substrat umfassen. Die Spannfeder kann so gebaut und über dem Substrat angeordnet sein, dass die Spannfeder einen Schaden oder unerwünschte Wirkungen verhindert oder begrenzt, welche/r durch nachfolgende Arbeitsschritte, die auf dem Substrat ausgeführt werden, oder bei der nachfolgenden Einwirkung von Bedingungen hoher Beanspruchung des Substrats verursacht wird/werden. Die Spannfeder kann eine Schicht mit einer Legierung oder einem Polymer umfassen.