发明名称 Aushärtbare Nanoprägezusammensetzung, mittels Nanoprägelithografie hergestelltes Formprodukt und Verfahren zur Ausbildung einer Strukturiereung
摘要 Die vorliegende Erfindung stellt eine aushärtbare Nanoprägezusammensetzung bereit, die auf dem Gebiet der”Nanoprägelithografie”zum Einsatz kommen soll, wobei eine Nanoprägeform eingedrückt wird, um eine feine konkav-konvexe Strukturierung zu transferieren, wobei die aushärtbare Nanoprägezusammensetzung ein Verbundharz mit einem Polysiloxansegment und einem Polymersegment enthält, das nicht das Polysiloxansegment ist, wobei das Polysiloxansegment eine Silanolgruppe und/oder hydrolysierbare Silylgruppe enthält und eine polymerisierbare Doppelbindung aufweist. Zusätzlich stellt die vorliegende Erfindung ein mittels Nanoprägelithografie hergestelltes Formprodukt, einen Resistfilm, eine Harzform und ein Verfahren zur Ausbildung einer Strukturierung bereit, wobei jeweils die Verwendung der Nanoprägezusammensetzung vorgesehen ist.
申请公布号 DE112012000833(T5) 申请公布日期 2013.12.12
申请号 DE20121100833T 申请日期 2012.02.14
申请人 DIC CORPORATION 发明人 SEKINE, HITOSHI;TAKADA, YASUHIRO;TANIMOTO, HISASHI;YAGI, NAOTO
分类号 H01L21/027;B29C59/02;C08F290/06 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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